涂布装置要素技术

高精度薄膜涂布技术

cmt3

模头位置定位机构

cmt4 — 涂布间隙定位

特点

通过伺服电机实现高精度定位
运用滚珠丝杠实现无背隙（backlash）
不会产生类似挡块式的滞后现象（Hysteresis）

设定精度：1μm

重复再现精度：±0.5μm