高精度切片机USM系列
功能
加工性能上融合认业内好评和有多台销售业绩的USM切片机的特质。
优秀的加工性能让用户更容易操作,同时适用于各种难以加工材料,机台的安装环境也比较容易实现。
超精密空气静压轴承主轴

搭载本公司开发、制作的高刚性空气静压轴承主轴。
采用同步马达
*1),在实现高旋转精度的同时,为使用刀片提供最佳主轴。
*1)采用感应马达。
多刀片加工

采用高刚性空气静压轴承主轴,可进行大负荷多刀片加工。
与单刀片加工相比,加工效率得已提升、压倒性的提高生产率。

16片多枚刀片的加工示例(光通信用多层滤光片)

4片多枚刀安装状态
刀片径・工件表面检测机能

光电式刀片径检测装置
提供高精度刀片直径检测和工作表面检测装置,对自动消除间隙和设置深度至关重要。

导电夹具表面检测装置

自动聚焦工件表面检测装置(专利申请中)
框架搬运装置
采用搬运机械手用于支持全自动化
清洁装置
标准配备平均粒径10~50μm的油雾,可任意设定清洗序列
(机械臂旋转速度等)
飞刀加工
通过金刚石车刀飞切加工,可以进行铜等软金属的薄膜加工
各种法兰盘
对应多刀片法兰盘、杯型砂轮等各种加工